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生产挠性有机‑无机层合物的方法 关于通过原子层沉积生产挠性有机‑无机层合物以及包含挠性有机‑无机层合物的阻障膜的方法的领域。特别地，本发明涉及生产层合物的方法，该方法包括：(a)通过原子层沉积方法沉积无机层，和(b)通过分子层沉积方法沉积含硒有机层。